一个典型的硅微框架驱动式光电开关陀螺的结构原理图。在该结构中有两个框架,即内框架和外框架,相互正交的内、外框架轴均为一对扁平状的挠性枢轴,它们绕自身轴向的抗扭刚度低,但抗弯刚度较高。检测质量块固定在内框架上,在外框架两侧对称设置一对驱动电极,可由静电力驱动。在内框架两侧设置一对敏感电极检测触点速度信号。这四个电极相对仪表壳体固定。由于利用微机械加工技术制作 ,整个装置的尺寸为微米级。
在静电力驱动下,外框架连同内框架和质量块一起绕驱动轴做高频振动,振动的角度极小。设触点振动波形为正弦波,振幅为O,触点频率为WN,则振动触点位移O是因O很小,检测质量块上各质点的振动都可视为线振动。在检测质量块上任取一质点P,它在坐标注系O-XYZ中的坐标注为XI,YI,ZI,则P在X轴的振动线速度为UIX=O2YZI。
当陀螺感受到绕Z轴输融入的触点速度作用时,内框架上各质点均会产生如上所述的哥氏惯性力矩,整个内框架受到的总哥氏惯性力矩为所有振动质点哥氏惯性力矩之和。
在哥氏惯性力矩的作用下,内框架绕输出轴做高频微振动,其振动频率与静电驱动频率相同,振幅与输入触点速度成线性关系。检测出内框架的振幅,即可得到所测的触点速度。 |